单场扫描技术是指以直线光栅尺作为位置测量仪器的技术。被
广泛地应用在机床、传送设备、工业自
动化和测量检测设备领域。
扫描原理
直线光栅尺和测量设备一
样采用光电扫描原理,对载有细微栅绂的光栅标尺
进行扫描。扫描方法的优劣决定输出信号的质量,
并进一步决定光栅尺的定位精度和最大运动速度。光学系统的特性决定了它易受各类污染的影响。通
过在封闭式直线光栅尺上采用单场扫描原理,海德
汉成功地将直线光栅R的上述两个性能大幅提高。
为了更清楚地解释单场扫描的优点.下面将把单场
扫描和传统的四场扫描作个对比:
在IS系列直线
光栅尺所采用的成
像式扫描方法中,
光栅标尺与带有类
似或相同光栅结掏
的扫描掩膜作相对
运动。穿过标尺与
掩膜光线的明暗程
度按标尺与掩膜相
对位置的不同而有
规律地变化:当标
尺与掩膜的空隙吻
合时,光线得以穿
过;当栅线与空隙
重合时没有光线穿
过。感光元件将光
强的变化转变为电
子信号。
4.单场扫描的信号生成
扫描掩膜带一个大尺寸光栅,其栅距与光栅标
尺的栅距略有不同。由此在扫描掩膜光栅全长上会
产生明暗交替的现象;某些地方栅线与栅线重叠.
光线可以通过;某些地方姗线与空隙重叠,光线无
法通过 而在这两者之间,空隙部分被遮挡。这起
到了光学过滤的作用,使得产生均匀的高正弦性信
号成为可能。特制的栅状感光元件取代了独立感光
元件,生成四个相位差为90咱g扫描信号。
单场扫描的优势
1.对污染干扰不敏感。
覆盖光栅标尺全宽的大尺寸扫描区以及交替重
复出现的栅状扫描区使得采用单场扫描原理的测量
设备对污染的干扰特别不敏感。污染试验已经证实
了这一点;即便在有大面积污染干扰时.测量设备
仍能提供高质量的测量信号。位置误差远低于测量
设备标定精度等级所对应的误差值。
与四场扫描相比,采用单场扫描可以在某些场
合,避免完全无信号输出现象的出现。
2.运行速度。
封闭式光栅尺的允许运行速度主要取决于以下
因素的影响:机械允许速度、电子允许速度
激光切割机床,直接驱动设备通常要求光栅有
较高的运行速度。
3.机械特性
封闭式光栅尺的密封条工作时摩擦特别小。这
使得光栅有可能在保持低磨损前提下高速运行。
4.电器特性
单场扫描的信号质量高而且稳定性好。输出信号幅值受光栅运行速度影响小。这保证了光栅在高
速运行时输出信号的稳定,利于信号的细分。
单场扫描因为有特殊的光学过滤和大面积扫描
区.产生的信号正弦性好,稳定性高。这显著减少
了一个信号周期内的位置误差。示波器的 y显
示模式下可明显地看到单场扫描的这个优点,单场扫描光栅尺的输出信号拥有更好的圆度
和更小的信号噪声
而这意味着更高的定位精度和更佳的控制品
质。对直线电机而言,配备了单场扫描光栅尺后,
速度控制可以做的更好,更为平顺
光栅尺,也称为光栅尺位移传感器(光栅尺传感器),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺经常应用于数控机床的闭环伺服系统中,可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。
例如,在数控机床中常用于对刀具和工件的坐标进行检测,来观察和跟踪走刀误差,以起到一个补偿刀具的运动误差的作用。光栅尺按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅和反射光栅。
扩展资料
光栅尺输出信号是电信号,动尺移动一个栅距,输出电信号便变化一个周期,它是通过对信号变化周期的丈量来测出移动的相对位移。计数器所计数乘以光栅距即为直线电机所走的位移。
输出信号是相位角相差90o时,方向为正,反之为负。Z信号作为校准信号以消除累积误差。在A信号怕下降沿采集B信号,就可判定出运动方向。
当A信号的上升沿及下降沿均比B信号超前1/4W,在A信号下降沿采集的B信号为“1”,此时为正向运动;A信号的上升沿及下降沿均比B信号滞后1/4W,在A信号下降沿采集到的B信号为“0”,此时为反向运动。
根据采集到的运动信号方向和A信号变化的周期数用计数器进行计数(正向计数或逆向计数),就可测算出总位移。
百度百科-光栅尺
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